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삼불화질소
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{{헬지구}}{{이과}} {{온실가스}} 말그대로 질소분자1개와 플루오르분자3개가 결합된물질이며 분자식은 NF3인 물질이다. 반도체생산에 사용되는데 반도체는 민감하기 때문에 매우 깨끗해야 한다. 때문에 반도체는 세척공정이 필요한데 삼불화질소는 이때 반도체 세척에 사용된다. 하지만 삼불화질소는 생산이 매우 까따로운 물질이다. 왜냐면 삼불화질소는 생산할때 암모니아와 불산이 필요하기 때문이다. 암모니아는 폭발위험이 높고 불산은 인체에 대단히 치명적인 물질이다. 그래서 삼불화질소는 생산이 어렵다. 그리고 더 중요한건 삼불화질소는 지구온난화를 일으키는 온실가스이다. 지구온난화를 일으키는 능력이 이산화탄소보다 1만배이상이나 강력하고 게다가 대기중에서 머무르는 기간도 무려 800년에 달한다고 한다. 방출량은 적지만 엄청나게 강력한 온실효과와 대기중에 머무르는 기간이 무지막지하게 길어서 각별히 주의해야한다. 반도체생산에 사용되므로 반도체생산과정에서 발생한다. 그리고 사용후 대기중방출을 방지하기위해 재회수하는것이 매우 중요하다. [[분류:분류필요]]
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